經(jīng)過近些年的發(fā)展，超音頻感應(yīng)退火電源在老式電源的基礎(chǔ)上正向著模塊化、高頻化、大功率化和智能化方向發(fā)展，以及向著節(jié)能型與低諧波污染的方向發(fā)展。具體體現(xiàn)在下面的幾個方面：

（1）逆變器器件除采用晶閘管外，更多地采用了能承受高電壓的IGBT（4500～7000V)作為逆變器的開關(guān)器件，使逆變器能工作在高的直流電壓下，優(yōu)點在于同樣功率其陽極電流小，逆變器變換效率較高，線路損耗小，從而達到節(jié)能的目的。IGBT已廣泛應(yīng)用在大功率的中頻和超音頻感應(yīng)加熱電源中，而MOSFET廣泛應(yīng)用于高頻的中大功率感應(yīng)加熱電源中。

（2）采用組合式的功率輸出，可方便提高輸出功率，輸出功率可達到(1~2) x l04KW。

（3）除傳統(tǒng)的6脈波（三相可控或三相不可控整流的）超音頻電源外，已廣泛采用12脈波和24脈波超音頻電源，它可降低諧波對電網(wǎng)的污染。三相6脈波、三相12脈波、三相24脈波的總諧波方均根據(jù)分別約等于直流電流平均值的4.20%、1.03%、0.26%。

（4）廣泛采用智能控制系統(tǒng)對超音頻感應(yīng)退火電源進行控制。這包括：①智能控制器，如采用DSP為核心來設(shè)計數(shù)字控制器。②智能控制算法，除傳統(tǒng)的PID控制算法外，還有自適應(yīng)控制算法、模糊控制算法、BP（Back Propagation反向傳播）神經(jīng)元網(wǎng)絡(luò)控制算法等。③采用標準化的信號傳輸方式，如采用工業(yè)控制總線CAN-US和PROFIBUS，光纖信號傳送等。這樣的信號傳輸方式可以降低干擾信號對控制信號的影響，提高了控制器的穩(wěn)定性。

（5）超音頻感應(yīng)退火電源無論在功率還是在頻率方面都有了很大提高。

（6）出現(xiàn)了越來越多的超音頻感應(yīng)加熱電源的調(diào)功方法，便于選擇和使用。

（7）有越來越多的學科（如金屬材料及熱處理、焊接、自動控制學科、電子信息及電子技術(shù)應(yīng)用等專業(yè)）的研究人員和工程技術(shù)人員在從事超音頻感應(yīng)退火電源的電路控制器及控制算法方面的研究，這將有利于我國感應(yīng)加熱電源的發(fā)展。